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      矽翔微机电系统有限公司制作的非防爆类的MEMS气体质量流量计可用于常规环境工业气体的计量、监测和控制。

    这类流量计的封装可根据用户的具体使用要求来设计、制造。从而使得其应用领域更加广范。流量传感器可采用插入式、内壁封装式等多种的安装形式,以适用于气体管径、流量范围等不同的需求。
主要应用

   1. 工业用气体测量及过程控制
   2. 压缩空气流量测量和控制 
   3. 氯气流量测量和控制   
主要功能   
   • 实时显示瞬时流量和累计流量
   • 不同气体应用可选择相应修正因子
   • 自动断电/故障记录和数据管理
   • 可充电备用电源
   • RS232/RS485数字信号输出
   • 标准法兰/螺纹连接
   • 用户界面软件
   • 4~20mA或脉冲输出(选项)
   • 无线传输功能(选项)

技术参数

 
MFG5000
MFG4000
MFG3000
MFGX4000
适用介质
清洁气体
清洁气体
清洁气体
清洁气体
压力/温度
<1.0Mpa/­10~60℃
<1.0Mpa/­10~60℃
<1.0Mpa/­10~60℃
<常压/­5~50℃
通径范围
15~50mm
5~25mm
1~15mm
19.5mm
测量范围
0.05~65m/s
0.03~6m/s
0.01~6m/s
0.03~6m/s
测量精度
±(2.0+0.5FS)%
±(1.5+0.5FS)%
±(1.5+0.5FS)%
±(1.5+0.5FS)%
重复性
±1.0%
±0.75%
±0.75%
±0.75%
零点输出
2.5±0.05
2.5±0.05
2.5±0.05
V
供电
8~24V
8~24V
8~24V
8~24V
输出
LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
安装连接
NPT/BPST
NPT/BPST
NPT/BPST
ISO-22mm

机械结构和材料

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