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矽翔微机电系统有限公司制作的非防爆类的MEMS气体质量流量计可用于常规环境工业气体的计量、监测和控制。
这类流量计的封装可根据用户的具体使用要求来设计、制造。从而使得其应用领域更加广范。流量传感器可采用插入式、内壁封装式等多种的安装形式,以适用于气体管径、流量范围等不同的需求。
主要应用
1. 工业用气体测量及过程控制
2. 压缩空气流量测量和控制
3. 氯气流量测量和控制
主要功能
• 实时显示瞬时流量和累计流量
• 不同气体应用可选择相应修正因子
• 自动断电/故障记录和数据管理
• 可充电备用电源
• RS232/RS485数字信号输出
• 标准法兰/螺纹连接
• 用户界面软件
• 4~20mA或脉冲输出(选项)
• 无线传输功能(选项)
技术参数
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MFG5000
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MFG4000
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MFG3000
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MFGX4000
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适用介质
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清洁气体
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清洁气体
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清洁气体
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清洁气体
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压力/温度
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<1.0Mpa/10~60℃
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<1.0Mpa/10~60℃
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<1.0Mpa/10~60℃
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<常压/5~50℃
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通径范围
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15~50mm
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5~25mm
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1~15mm
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19.5mm
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测量范围
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0.05~65m/s
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0.03~6m/s
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0.01~6m/s
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0.03~6m/s
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测量精度
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±(2.0+0.5FS)%
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±(1.5+0.5FS)%
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±(1.5+0.5FS)%
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±(1.5+0.5FS)%
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重复性
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±1.0%
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±0.75%
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±0.75%
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±0.75%
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零点输出
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2.5±0.05
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2.5±0.05
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2.5±0.05
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V
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供电
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8~24V
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8~24V
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8~24V
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8~24V
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输出
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LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
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LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
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LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
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LCD显示/RS485/4-20mA(选件)
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安装连接
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NPT/BPST
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NPT/BPST
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NPT/BPST
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ISO-22mm
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机械结构和材料

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