专门为燃料电池开发的用于测量气体或液体燃料的低功耗流量传感器，可用于新型便携式或功率燃料电池中气体及燃料的测控，以提高电池内部系统的工作效率。图示中三通道传感器组提供两路空气测量及一路气体燃料测量，满量程可低至12mL/min。

主要技术参

               精    度：±(2.0+0.15FS)%
               重 复 性：±1.0%
               功    耗：<10mW/channel
               工作压力：<0.4MPa  
               工作温度：-10～80℃
               供电电压：3.0VDC
               响应时间：5msec(95%)
               最大压损：<50Pa
               范 围 度：>300：1
       本流量传感器也可用于测控液体燃料（例如甲醇）的浓度或流速。对于液体燃料的测控，传感器的功耗小于6mW/channel。
 

   矽翔微机电系统有限公司制造的插入式流量计广泛用于工业气体流量的测控，特别适用于大口径气体管道、在线式流量计安装不易的情况下。本插入式流量计具有传统的热式流量计所没有的低流速灵敏、量程大、精度高等特点。

    矽翔微机电系统有限公司制造的MEMS系列氧浓度传感器产品是专门为氧气机或制氧机而设计的。该自主知识产权的传感器能同时测量空气中氧气的浓度以及气体的流量。既可以单独作为气体流量传感器也可以单独作为氧浓度传感器使用。不同于传统的氧电池方式测量氧浓度，本产品具有响应快，寿命长、无衰减（失效）的独特性能。本产品也可以用于其它两相混合气体的动态浓度和流量的测量（需事先校准）。